ESD静电监控

ESD防静电监测系统

静电放电（ESD）造成的危害：

1、硬损伤：会引起电子敏感元器件造成过压使得介质被击穿，或过流使得内部电路金属导线熔断。

2、软损伤：造成集成电路功能隐性失效，通过技术证明以及检测都很难发现，导致后期产品可靠性变差、寿命缩短、功能失效，对企业品牌形象造成不可逆转的损失。

手环接地解决问题

1，同一个线体，一个报警器，任何一个手环状态异常，报警和手环终端，看板就会持续报警，直到恢复正常状态

2，红外感应，人员在岗未，未带手环，终端会持续报警，正确佩戴手环带，且在750K~45MΩ范围内，才能恢复正常状态

3，数据实时监控，通过系统可以查询数据，降低风险，提高生产效率。

台垫接地解决问题

1，防静电皮通过终端与接地线连接，可监控静电线脱落立即报警

2，防静电皮接入ESD系统，数据实时监控，防静电老化和异常情况立即报警

设备接地解决问题

1，设备通终端与接地连接，可视化静电阻值，可靠性高

2，设备接入ESD系统，数据实时监控，设备异常情况立即报警

人员静电监控系统目的

对EPA中的人员进行防护要求的智能管理和静电指标的控制

对人体静电模型，使用智能门禁系统对进入EPA的人员实现装备的智能检测和记录对作业过程的人员静电控制指标进行实施监测

检测和监测指标以HBM50V为标准，确保防护区当中的人员静电风险远低于器件的敏感度水平。

设备接地ESD监控系统的主要目的

电批：外壳直接接设备地，接地电阻<4Ω，对地漏电电压Vac <1v

电烙铁：外壳直接接设备或设备地之间接150K Ω±10%，对地漏电电压Vac<1v；

ESD监控系统：使用网络的智能监测设备对EPA中的设备和工具接地情况进行实时是监控；

标准：设备不出现EOS风险的同时，满足MM10V防护区等级的要求。

ESD防静系统的目的

实时数据监测

对敏感器件作业区进行静电水平的实时监测和防护，以防止出现超标静电源；

静电消除

用联网离子风机对表面静电进行消除，保持生产制程中的离子平衡度中和；控制空气温湿度，减少生产环境电荷积聚导致静电放电发生。

防护目标

满足CDM30V产品的防护要求。